Mikrospiegel Arrays Qualitätskontrolle
Mikrospiegel Kalibration der Neigungs-/Kippauslenkung vs. angelegte Spannung und Geometrie
Mikrospiegel Arrays, auch bekannt als Digital Micromirror Devices (DMDs), werden in einer Reihe verschiedender optischer und Bildgebungsanwendungen eingesetzt, weil sich mit ihnen dank der präzisen, individuellen Steuerung der vielen kleinen Spiegel Licht gezielt steuern lässt. Anspruchsvolle Anwendungen wie maskenlose Lithographie oder optisches Schalten in der Telekommunikation setzen eine genaue Kalibration der Spiegelbewegung vs. der angelegten Spannung voraus. Dazu gehören z.B. die präzise Kontrolle des ROC (Radius of Curvature) sowie weitere Parameter für ein bestmögliches Funktionieren des finalen Systems.
Mikrospiegel Arrays enthalten typischerweise tausende bis millionenfach kleinste Spiegel. Dank der einmaligen Geschwindigkeit unseres DHM® lässt sich jeder einzelne Spiegel auf seine Funktionsweise überprüfen.
In dieser Anwendung zeigen wir unser spezifisches DHM System mit Anwenderinterface für die Qualitätskontrolle von Mikrospiegel Arrays.
Beschreibung:
- Material: Siliziumwafer, reflektierendes Coating auf den Spiegeln
- Aufnahme- & Analysezeit:
- 0.25 sec / Stelle
- Eine Stelle kann mehrere Spiegel beinhalten (von Spiegelgrösse und maximalem Winkel abhängig)
- Neigung/Auslenkung (Spezifikationen gemessen an 1 mm Durchmesser Spiegel mit 2.5x Objektiv) :
- Genauigkeit < 1 mrad
- Bis zu 2000 Anregungsspannungen pro Spiegel
- ROC (Spezifikationen gemessen an einer 500 Mikrometer ROC Referenzkugel):
- Genauigkeit < 0.5%
- Wiederholbarkeit < 0.05%
- Messung: kundenspezifisches Anwenderinterface entsprechend der Anwendung.
- Manuelles Laden der Mikrospiegel Array Einheit
- Halbautomatisches Alignment
- Automatischer Scan aller oder vorselektierter Stellen
- Automatisierte ROC Messung
- Automatisierte Kontrolle der Anregungsspannungen sowie der Neigung/Auslenkung-Messung
- Automatische Protokollierung
- Instrument:
- DHM® R1000 (Einzelwellenlänge & Mehrfachobjektive)
- Objektive: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 40x, 50x, 100x
- Industrielle Workstation mit motorisiertem Verfahrtisch mit bis zu 300x300x100 mm
- 0.25 sec / Stelle
- Eine Stelle kann mehrere Spiegel beinhalten (von Spiegelgrösse und maximalem Winkel abhängig)
- Genauigkeit < 1 mrad
- Bis zu 2000 Anregungsspannungen pro Spiegel
- Genauigkeit < 0.5%
- Wiederholbarkeit < 0.05%
- Manuelles Laden der Mikrospiegel Array Einheit
- Halbautomatisches Alignment
- Automatischer Scan aller oder vorselektierter Stellen
- Automatisierte ROC Messung
- Automatisierte Kontrolle der Anregungsspannungen sowie der Neigung/Auslenkung-Messung
- Automatische Protokollierung
- DHM® R1000 (Einzelwellenlänge & Mehrfachobjektive)
- Objektive: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 40x, 50x, 100x
- Industrielle Workstation mit motorisiertem Verfahrtisch mit bis zu 300x300x100 mm
