MEMS Biegebalken

Effiziente Modus Charakterisierung

Biegebalken werden an Luft, in Flüssigkeit, im Vakuum betrieben. Multi-Frequenz Anregung, Torsions Modus, optimieren der Geometrie: da ist es ideal, wenn man dank Messmöglichkeit einen direkten Vergleich zwischen Simulation und realen Daten erhält. Auch die zum Teil grossen Auslenkungen an den Spitzen und die damit verbundenen hohen Geschwindigkeiten tun dem keinen Abbruch.

Dynamische Topographie & Vibrations-Darstellungen

Dank dem DHM^® eigenen Holographischen MEMS Analyzer visualisieren die MEMS Designer in Echtzeit das Schwingverhalten der Balken bei Änderung von Frequenz und Spannung. Beide Rückmeldungen werden unmittelbar sichtbar: die Zeit- und die Frequenz-Komponente. Dieses einzigartige Datenset erlaubt die umfassende Charakterisierung des dynamischen Verhaltens der Biegebalken.

• zeitliches Verhalten in 3D
• Amplituden- und Phasen-Vibrations Mapping

Das DHM^® erlaubt ein Darstellen der Vibration über jeden kompletten Biegebalken, bei xy-Auflösung bis zum sub-Mikrometer.  Punktmessungen, wie es das Laser-Doppler-Vibrometer anwendet, erreichen bei Weitem nicht diese hohe Auflösung.