ISO Standards, basierend auf der berührenden Tastnadel, verlangen oft eine Messstrecke, die grösser ist als die bei der optischen Bildaufnahme erzielte. Aber dank dem nicht-scannenden Prinzip der Aufnahmen beim DHM® lassen sich mehrere Bilder schnell und zuverlässig aufnehmen und zusammensetzen und ermöglichen so die Anwendung der ISO Standards.
Das integrierte Koala Software Rauheitsmess-Modul berechnet Rauhigkeit, Welligkeit und Primärprofil Parameter (Ra, Wq, Pp etc.). Auch erlaubt es das Anpassen der cut-off Frequenzen, wenn es das Bauteil erfordert.
Quelle: spie.org/Publications/Proceedings/Paper/10.1117/12.716113
DHM R-1000 Messung der Oberflächengüte eines Quarz Wafers. Ein 40x Objektiv mit NA 0.75 ist nötig, um das von den Kristallen nach allen Seiten reflektierte Licht einzufangen. Ein Objektiv mit kleinerem NA Wert ergäbe aufgrund der vielen kleinen Kristall Pyramiden ein ungenügendes Messresultat
DHM® ist eine zerstörungsfreie Messmethode und kann auch auf der gegenüber liegenden Seite einer Glasscheibe resp. an der Innenseite eines Glasrohrs messen. Im Beispiel hier vermisst das DHM® die Rauheit an der Innenseite eines Glasrohrs mit 2 mm Wandstärke.
Optimale optische Qualität beim Messen mit dem DHM® wird mit angepassten Objektiven garantiert. Die nötige Korrektur beim Messen durch die 2 mm dicke Wand des Glasrohrs wird hier durch ein in der Standard-Optischen-Mikroskopie erhältliches Glasdicken korrigiertes Objektiv gewährleistet.
Digitale Kompensation der Krümmung beim Glasrohr ermöglicht die einmalige DHM® numerische 3D Rekonstruktion Möglichkeit. Der Einfluss sowohl des Glases wie auch der Krümmung auf die an der Glasrohr Innenseite zurück reflektierte Wellenfront kann damit korrigiert werden und verbessert so die Genauigkeit und die optische Qualität der Messung.
Die Messlänge kann mit dem automatischen stitchen (zusammensetzen) von Aufnahmen auf die gesamte Glasrohr Länge ausgedehnt werden.