Höhen Messnormal

Präzise Messungen mit sehr hoher Wiederholgenauigkeit

Stufenhöhe Messnormale werden zur Kalibrierung der Höhe für so unterschiedliche Messinstrumente wie berührende Stylus Instrumente, optische Profiler, Atomic Force Mikroskope (AFM) eingesetzt.

DHM® von Lyncée Tec nutzt die Wellenlänge des Lichts für Höhenmessungen. Mit der Verwendung hoch stabiler interferometrischer Filter für eine bestimmte Wellenlänge aus einer relativ breitbandigen Laserquelle arbeitet das DHM® mit einer präzis kontrollierten und perfekt stabilen Wellenlänge. Mehr noch: das DHM®  hängt nicht ab von irgendeiner Kalibrierung, präziser Positionierung, oder der Wiederholgenauigkeit interferometrischer Piezo-Kontroller ab, noch nutzt es irgendeine motorisierte Verstellung oder ein konfokales Detektionssystem.

Beschreibung

  • Messnormal: VLSI standard SHS-80 QC von VLSI Stadards Inc.
  • Material: Chromatisierter Quartz
  • Instrument: DHM® R-1000
  • Vergrösserung: 10x
Messung einer 8.9 +/- 0.5 nm Stufenhöhe SHS8 QC zertifiziert von VLSI Standard Inc. Die gemessene Höhe mit dem DHM R-1000 ist 8.7 nm.
Stufenhöhe SHS-80 QC von VLSI Inc.
Stufenhöhe SHS-1800 QC by VLSI Inc.
Stufenhöhe SHS-4.5 QC by VLSI Inc.