Mikroheizplatte
Thermische Deformation
MEMS Mikroheizplatte hat ein breites Anwendungsfeld wie Gas & Chemisches Sensing, Temperatur & Feuchtigkeits Sensing, etc. Der Aufbau basiert auf einer dünnen Membrane, welche die Heizung als solche nicht berührt und sich dadurch höhere Temperaturen erreichen lassen. Die beobachtete Deformation der Membrane rührt somit von thermischem Stress her.
DHM® misst die Deformation in Echtzeit und erlaubt die präzise Charakterisierung dieses dynamischen Prozesses.
Beschreibung:
- Courtesy : LMIS1, EPFL, Switzerland
- System: DHM R2100
- Aufnahmerate: 30 Bilder/sec
- Objektiv: 5x
- Zeitskala: <1s
- Membran Grösse: 1 mm2
- Heizung: Pt
- Live Monitoring der Membran-Deformation
- Charakterisierung über das dynamische Profil
- Membrane: Low-stress LPCVD SiN
