SAW – Akustische Oberflächenwellen
Planare Wellen
Akustische Oberflächenwellen haben mittlerweile eine einstmals nicht erwartete Verbreitung gefunden, sei dies in elektronischen Systemen, Sensoren, Biomedizinischen Teilen oder Touchscreen Displays.
Damit ist auch der Messbedarf gegeben: Wellen-Geometrie, Amplitude, Homogenität, um die Erkenntnisse daraus ins Design zur Optimierung neuer Bauteile einfliessen zu lassen und dieser Technologie immer weitere Anwendungen zu ermöglichen.
Der holographische MEMS Analyzer ist das perfekte Instrument für diese Art von Messungen. Die hohe vertikale und laterale Auflösung lassen die Wellen Ausbreitung bereits fürs Auge voll sichtbar werden, dazu kommen die umfassenden Auswertemöglichkeiten in der MEMS Tool Software.
Beschreibung
- DHM R1003, Vergrösserung 20x
- Messfrequenz : 24.7 MHz
- Courtesy: SAWLab Sachsen, IFW Desden
Vibrations-Sequenz und Vibrations-Darstellung
Mit 5 nm gegen 150 nm ist die Vibrations-Amplitude viel geringer als die topographische Unebenheit. Aber numerisch die Vibrations-Sequenz zu bearbeiten erlaubt die Visualisierung.
Der Einbezug der gesamten Messfläche zusammen mit der hohen vertikalen Auflösung ergibt sofort eine Gesamtsicht auf das dynamische 3D Wellenfeld. Und erlaubt folgende Untersuchungen:
- SAW Homogenität und Amplitude
- Kanteneffekte
Neues pMUT Design
- Courtesy : University of California, Davis, CA, USA
- Bauteil : Coupled piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers
- DHM® : R-1003, Vergrösserung 10x
- Anregungsfrequenz : 10 MHz
- Wellenform : Sinus, 10 Vpp
Vibrations Analyse
Aus-der-Ebene Vibration erlaubt die Analyse der Bauteil Vibration bei einer gegebenen Frequenz. Amplituden- und Phasen-Darstellung liefern dabei Information zur generierten akustischen Welle. Die Phasen-Darstellung zeigt eine runde Welle, während die Amplitude Information über die Homogenität und Dämpfung liefert.
Publikationen
Coupled piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with improved pulse-echo performance – IEEE Conference Publication
Coupled piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with improved pulse-echo performance – IEEE Conference Publication
Neues pMUT Design
- Courtesy : University of California, Davis, CA, USA
- Bauteil : Coupled piezoelectric micro-machined ultrasonic transducers
- DHM® : R-1003, Vergrösserung 5x
- Anregungsfrequenz : 10 MHz
- Wellenform : Sinus, 10 Vpp
Vibrations Analyse
Amplituden- und Phasen-Darstellung liefert Information zur generierten akustischen Welle. Eine planare Welle zeigt sich zu beiden Seiten des Bauteils, destruktive Intereferenz bildet sich in den Ecken.
