Flüssigkeits-Topographie

Flüssigkeits-Topographie auf Substrat

Die Topographie von Flüssigkeiten und sehr weichen Materialien kann eigentlich nur mit nicht-berührenden Methoden zufriedenstellend vermessen werden.

Reflektometrie Analyse Software

DHM® Reflektometrie Messung, im Gegensatz zu alternativen Systemen, ist eine schnelle, nicht-scannende one-shot Methode und somit ideal zum Erforschen der dynamischen 3D Topographie von Flüssigkeiten. Ein repräsentatives Beispiel hierzu ist das Messen des Profils über einen Tropfen von Tetraethylen Glykol auf einem Silizium Wafer.

  • Schicht eins (TetraEthylen Glykol): Dicke 0 nm; Unsicherheit: 0 nm
  • Abscheidung min: -10 nm; Abscheidung max: 10000 nm; Inkrement: 1 nm

Die DHM® Reflektometrie Analyse Software ist die Lösung zum Beobachten von Benetzung, Verdampfen, Kristallisation, Fotolack Auftrag etc. auf reflektiven Substraten.

Tropfen von TEG (Tetraethylen Glykol)
Profil über den TEG Tropfen