Strobe & Stitch

Unser Strobe & Stitch Modus ermöglicht eine einzigartige laterale Pixelauflösung beim Messen von 4D Topographie und Sample Vibrationen. Dieser Modus ist insbesondere nützlich wenn:

  • die lateralen Abmessungen der Mikrostrukturen mit deren Funktionen oder die Bewegungen im Vibrationsmodus klein sind im Verhältnis zur Messfläche. Insbesondere bei SAW Bauteilen ist dies der Fall, mit Wellenlängen im Mikrometerbereich, aber Oberflächengrössen bis mehrere Quadratzentimeter, oder bei Kristallen, wie unten gezeigt.
  • Sample Oberflächen enthalten steile Flanken und die Sample Oberfläche ist gross. Ersteres ruft nach höherem NA Objektiv, welches einhergeht mit kleinerer Abbildungsfläche, welches sich wiederum kompensieren lässt mit einer Vielzahl von Aufnahmen, die sich mit stitchen zusammensetzen lassen. Beispiele sind verformbare Linsen, Mikrospiegel oder auch kapazitive Membranen.

Vibrations Stitching, also bei periodischer Bewegung eine Vielzahl an Bildern aufzunehmen um die gesamte gewünschte Oberfläche abzubilden, ist sogar präziser und zuverlässiger als beim ruhenden Sampel Stitching. Denn allfällige Ungenauigkeiten herrührend vom Verfahrtisch enthalten statische Komponenten, welche automatisch rausgerechnet werden, wenn die Topographie von den Vibrationen extrahiert wird. Andere Korrekturen wie „tilp/tip“ oder Neukalibrierung bei jeder Aufnahme entfallen.

Eine Strobe & Stitch Anwendung wird hier nachfolgend mit dem Messen eines 5 mm Durchmesser Quarz Oszillators gezeigt. Die Vibrationsamplitude vs. Zeit und das Vibrationsamplituden Mapping sind das Ergebnis aus dem Stitchen von 5 x 5 = 25 Einzelmessungen, gemacht mit dem 5x Objektiv. Die Gesamtmessung hat damit eine Auflösung von 25 Megapixeln.

Aus-der-Ebene Vibration vs. Zeit eines X-cut Quarz @ 8.719 MHz. DHM Messung: 5 x 5 Messungen, stitched, Auflösung 25 Millionen Pixel
Vibrations-Mapping eines X-cut Quarz @ 8.719 MHz. DHM Messungen: 5 x 5 Aufnahmen stitched, Auflösung 25 Millionen Pixel
Aus-der-Ebene Vibration vs. Zeit an einem AC-cut Quarz @ 8.83 MHz. DHM Messung: 5 x 5 Aufnahmen stitched, Auflösung 25 Millionen Pixel.
Vibrations-Mapping an einem AC-cut Quarz @ 8.83 MHz. DHM Messung: 5 x 5 Aufnahmen stitched, Auflösung 25 Millionen Pixel.

Applikationen