Meta-Oberflächen Charakterisierung

Meta-Oberflächen modulieren die Phase des Lichts

Eine Meta-Oberfläche, oder Meta-Bauteil, ist ein Substrat, strukturiert mit Sub-Wellenlängen-Skalierten Mustern in der horizontalen Dimension. Sie modulieren das Verhalten von elektromagnetischen Wellen im dreidimensionalen (3D) Raum. Wie gezeigt mit dieser Anwendung, ist das DHM® ein ideales Instrument zum Messen dieses Effekts.

Beschreibung

  • Courtesy : Nanophotonics and Metrology Laboratory, Swiss Federal Institute of Technology Lausanne (EPFL)
  • Material: Meta Oberfläche
  • Instrument: DHM® R-1000 mit Polarisations-Kontrolle
  • Vergrösserung: 100x
Quantitative Phasenmessungen auf der Bildfläche für einfallendes RCP Licht. (a-d) SEM Aufnahmen eines Nanoantennen Arrays (Teilansicht). Balken ist 500 nm. (a) : Linse (b) langsame lineare Variation (c) schnelle lineare Variation (d) Vortex Strahlengenerator. (e-f) Dazugehörende Phasenkontrast Bilder von einem ganzen Nanoantennen Array. Balken ist 10 μm. Grauskala Bereich ist -π und π. (i-l) Dazugehörende unwrapped (gerechnete) Phase. Die Breite der Farbgebung entspricht der Phasenfunktion, von der beim Design der Strukturen ausgegangen wurde. (m-p) Schnitt entlang der transparenten, vertikalen Ebene. Die gemessenen Daten werden mit den berechneten theoretischen Phasenfunktionen verglichen.

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