Trägheitssensor

MEMS Beschleunigungsensor und Gyroskop

Die am meisten in unserem täglichen Leben verwendeten MEMS Bausteine sind Trägheitssensoren und Gyroscope. Sie sind in mobilen elektronischen Geräten wie Smartphones, aber auch im Auto verbaut. Solche MEMS Bauteile enthalten bewegliche Teile wie die Referenz-Masse, Kammantrieb oder andere bewegte Teile mit Bewegung sowohl in- wie aus-der-Ebene. Ihre Charakterisierung verlangt maximale Auflösung betreffend Auslenkung, hoher Frequenz und grossem Messbereich.

Anders als beim Laser-Doppler-Vibrometer (LDV), bei dem nur mit einer begrenzten Anzahl vordefinierter Punkte am bewegten Teil gemessen werden kann, misst das DHM®  gleichzeitig an sämtlichen Pixeln im Messbereich. Damit lassen sich Schwingungsformen mit hoher, sub-Mikrometer lateraler Auflösung messen, was das DHM® zum idealen Messinstrument zum Messen solch komplexer Geometrien wie bei Gyroskopen macht. Das DHM® setzt Bilder auch bei voller Bewegung des Bauteils zusammen (stitchen) und erlaubt so erst die gewünschte hohe laterale Auflösung.

Beschreibung:

  • Courtesy: Shanghai Jiaotong University, China
  • System: DHM R2200
  • Modus: Stroboskopischer Modus
  • MEMS: Gyroskope
  • Objektiv: 2.5x mit hohem NA
Gyroskop Vibrations-Darstellung
Vibrations-Amplitude @ 40.2 kHz
Vibrations-Amplitude @ 88.4 kHz
Vibrations-Amplitude @ 96.4 kHz