Industrielles Interferometer
Messen am laufenden Bauteil mit bis zu 15 cm/sec Vorschub
3D optische Inspektion mit dem DHM® verträgt sich mit der Produktions Umgebung. DHM® bietet die optische Inspektion der 3D Topographie, Güte des Oberflächenfinish, Defekt-Erkennung auch am bewegten Bauteil bei hohem Durchsatz und vor allem auch inmitten der Produktionshalle mit Lärm und Vibration.
Automatisierte Wafer Inspektion
Messen mitten in der Produktion
- Vorschub bis zu 15 cm/sec
- Messrate bis zu 100 Hz
- Kein Anti-Vibrations Aufbau nötig
Numerische Rekonstruktion
- digitale Oberflächenfokussierung ohne mechanische Justierung!!
- Ausgleichen der Bauteil Schräglage rein digital
3D Messungen mit metrologischer Präzision und Stabilität
- Rückverfolgbarkeit : intrinsische vertikale Kalibration
- Zuverlässiges Instrument : kein komplexer Scanning Mechanismus
Hohe Durchsatzraten beim Messen mit dem DHM® ermöglicht die einzigartige Non-Scanning Technologie. Die hohe DHM® Aufnahmerate ermöglicht ganz neue Mengen an Teile-Messungen direkt in der Produktionslinie. Die überaus kurze Aufnahmezeit des DHM® macht das System robust gegenüber Vibrationen. DHM® ist ein zuverlässiges System mit niedrigen Wartungskosten, u.a. wegen kaum vorhandenen mechanisch bewegten Teilen. Die beim DHM® intrinsische vertikale Kalibration garantiert genaue Messungen über die Zeit. Abhängig von den Anwender Anforderungen, wird das DHM® an der Standard Säule montiert geliefert oder aber in die Anwender Infrastruktur integriert. Ein solches System ist typischerweise kundenspezifisch auf eine bestimmte Messaufgabe abgestimmt. DHM® wird über TCP/IP software gesteuert und erlaubt die Kontrolle aller Aufnahme- und Analyse Funktionen beim DHM®.
Nanometer - schneller denn je
DHM® ist die einzige derart schnelle, hochauflösende 3D Messmethode für hohen Durchsatz. Optische 3D Inspektion erlaubt bedeutende Fortschritte in Bezug auf Produktionsqualität, Zeitersparnis, Innovation.
Spare Zeit & Kosten durch…
- Frühe Produktfehler Erkennung vermeidet teure Folgekosten
- Reduziere Wartungskosten mit dem DHM® Instrument dank seiner intrinsisch stabilen Referenz, welche nur begrenzte Kalibrierung erfordert
- Nutze die lange MTBF (mean time between failure) dank nicht vorhandenem Scanning Mechanismus
Nimm Neues und bewahre kompetitive Vorteile
- Sei ein Pioneer mit den schnellen 3D Messungen inmitten der Produktion
- Nutze die neue Dimension der einzigartigen optischen DHM® Information, alle DHM® innovativen Lösungen sind kompatibel mit der industriellen Inspektion
- Messe Rauheit gemäss ISO Standard
- Messe auch grössere Flächen dank schnellem, automatisiertem stitching
Nimm ein Instrument passend in die industrielle Umgebung
- Einfach zu automatisieren und integrieren ins bestehende IT Produktions System
- Limitierte Ausbildung nötig dank Ausrichtung auf den Produktionsmitarbeiter
- Modularer DHM® Messkopf kann in die Produktionslinie montiert oder in ihr bestehendes Instrument integriert werden
- 3D Messungen in der Produktionshalle dank robustem und zuverlässigem Messsystem
Kompetitive Vorteile
3D optische Inspektion von LyncéeTec nutzt die Stärken der digitalen Holographie , um das erste Messgerät für 3D Messungen mit industriellem Durchsatz anzubieten.
DHM® vs 2D Inspektionssystem
2D Inspektionssysteme sind weit verbreitet in der industriellen Inspektion. Sie bieten hohe Messraten bei grossen Aufnahmeflächen, aber der Nachteil ist, es sind keine topographischen Informationen, nur Information über Intensität und Farbe. Ausgehend vom Hologramm bietet das DHM® echte Phasen- und Intensitäts-Information. Die Phase erlaubt den Erhalt der Topographie-Information wie die Oberflächen Rauheit, oder die Charakteriserung transparenter Schichten, welches ein 2D System nicht erlaubt.
| Beschreibung | DHM® | 2D System |
| 3D Topographie | [ja] | [nein] |
| Oberflächen Finish | [ja] | [nein] |
| Transparente Materialien | [ja] | [nein] |
| Bewegte Teile | [ja] | [ja] |
| Digitales Fokussieren | [ja] | [nein] |
DHM® vs 3D Scanning Technologie
Scannende Technologie wie Laser Scanning Confocal Microscopy (LSCM) oder Weisslicht Interferometer (WLI) haben eine niedrige Messrate und sind dazu empfindlich auf Vibration. DHM® kennt diese Limitierungen nicht.
| Beschreibung | DHM® | Scanning Technology |
| 3D Messung | [ja] | [ja] |
| Intrinsische vertikale Kalibration | [ja] | [nein] |
| Bewegtes Bauteil | [ja] | [nein] |
| Robust gegen Vibration | [ja] | [nein] |
| Digitale Fokussierung | [ja] | [nein] |
Anwendungen
Betreffend die industrielle optische Inspektion mit dem DHM® hat Lyncée Tec das erste System in die Uhren Industrie verkauft. Später, im Jahr 2010, hat Lyncée Tec ein System installiert, das Teile auf dem Förderband daher kommend misst, ohne das Band zu stoppen und ohne für die Fokussierung das Bauteil zu justieren. Letzteres dank automatischer, digitaler Fokussierung.
DHM®’s sind in Betrieb für die optische 3D Inspektion in der Halbleiter-, Medizin-, Uhren- und Solar-Industrie zum Messen unter anderem folgender Grössen:
- Topographie
- Rauheitsmessungen gemäss ISO Standard
- Stufenhöhen von SiO2 auf Si Wafern
- ästhetische Oberflächen-Kontrolle
