Wafer Halter für das DHM
1" to 6" Wafer
Der 1″ bis 6″ Waferhalter passt auf den DHM® 150x150x38 mm motorisierten Verfahrtisch. Er ist drehbar, um die Chips auf dem Wafer mit den Tischachsen in Übereinstimmung zu bringen. Dazu die Vakuum-Fixierung des Wafers, besonders nützlich beim Stitchen einer Serie von Messungen entlang einer Linie mit hoher lateraler Auflösung.
Spezifikationen
- Wafergrösse : 1″ to 6″
- Drehbar: 360°
Inbegriffen im Paket
- 6″ Vakuum und drehbarer Wafer-Halter
- Set an Adaptern zum Aufnehmen von 1″ to 4″ Wafern
- Vakuumpumpe und Accessoirs
Kompatibilität
- DHM®-R Serie
- 150x150x38 motorisierter Verfahrtisch.
Vom Dice bis 4" Wafer
Die Vereinzelung auf dem 4″ Wafer-Halter hält vom einzelnen Dice bis zu 4″ Wafer auf dem DHM® 100x100x38 mm motorisierten Verfahrtisch. Drehbar, zum Ausrichten des Wafers entlang der Tischachsen. Vakuum-Halter für das sichere Positionieren der Dice oder Wafer, nützlich beim Stitchen.
Spezifikationen
- Wafer Grösse : 1″ to 4″
- Sample Drehung: ±10°
Inbegriffen im Paket
- Vakuum und drehbare Wafer-Halterung
- Vakuumpumpe und Accessoires
Kompatibilität
- DHM®-R Serie
- 100x100x38 motorisierter Verfahrtisch.
