MEMS Probing Plattform
Top der Probing-Plattform
Die MEMS Probing-Plattform ermöglicht die direkte DHM® Charakterisierung von MEMS ohne wire-bonding der Chips bis zu 8″ Wafer Grösse. Die Probing-Plattform besteht aus einer drehbaren Vakuum-Sample-Halterung sowie zwei magnetischen Plattformen zum Positionieren der Probes.
Die Vakuum-Halterung erlaubt die stabile Positionierung des Wafers. Voraussetzung für zuverlässiges Stitchen, Zusammensetzen einer Vielzahl an Messungen an grösseren Bauteilen, um mit hoher lateraler Auflösung eine grössere Fläche abbilden zu können.
4″ Wafer :
- Bis zu 4 magnetische Prüfspitzen-Positionierer
XY Bereich 7mm, XY Auflösung < 20 Mikrometer, vertikaler Bereich (Z) 25mm - Sample Halter: mechanische Clamps und Vakuum
- Sample Drehung: ±10°
- Sample Grösse: vom Chip bis zum 4“ Wafer
8″ Wafer :
- Bis zu 4 magnetische Prüfspitzen-Positionierer,
XY-Bereich 7mm, XY-Auflösung < 20 Mikrometer, vertikaler Bereich (Z) 25mm - Sample Halter: mechanische Clamps und Vakuum
- Sample Drehung: ±10°
- Sample Grösse: vom Chip bis zum 8″ Wafer
Inbegriffen im System
- Zwei magnetische Probes-Positionierer
- Spitzen (Wolfram Karbid), Set von 10
- Alle Kabel
Kompatibilität
Heizbare Probing-Plattform
Die heizbare MEMS Probing-Plattform kombiniert eine Heizplatte mit der Sample-Halterung und erlaubt so die direkte DHM® Charakterisierung von MEMS mit regelbarer Substrat-Temperatur, für Chips und Wafers bis zu 4″ Durchmesser. Diese geheizte Plattform ist drehbar und hat eine Vakuum-Halterung, Heizplatte und zwei magnetische Flächen zum Positionieren der Prüfspitzen.
Die Vakuum-Halterung garantiert eine stabile Positionierung des Samples, besonders wichtig beim stitchen / zusammensetzen einer Anzahl Messungen bei grösseren Flächen.
Spezifikationen :
- Bis zu 4 magnetische Prüfspitzen-Positionierer,
XY Bereich 7mm, XY Auflösung < 20 Mikrometer, vertikaler Bereich (Z) 25mm - Sample-Halter Temperatur bis zu 200°C, Homogenität über die Halterung ± 3°C. Elektronische Regulierung (feedback loop), aber auch manuelle Temperatur-Kontrolle
- Elektrisch leitend zum Vermeiden von ESD
- Sample Halterung: mechanische Clamps und Vakuum
- Sample Drehung: ±10°
- Sample Grösse: von 4mm bis 4“
Inbegriffen im Set
- Zwei magnetische Prüfspitzen-Positionierer
- Spitzen (Wolfram Karbid), Set von 10
- BNC Kabel, 1.50 m, 50 Ohm COAX, 1.50m
- Heizkontroller
Kompatibilität
Probing auf Wafer-Level
DHM® kann an den meisten Probe-Stationen angebracht werden. Es ermöglicht schnelles Wafer-Level-Screening sowohl der statischen wie der dynamischen Charakteristiken von Mikrobauteilen, z.B. zum Ausweisen der statistischen Verteilung.
Es gibt viele verschiedene Probe-Stationen am Markt. Lyncée Tec arbeitet eng mit Herstellern zusammen, um Ihnen Ihre bevorzugte Lösung anbieten zu können. Jede Integration ist von unserem Team auf Ihre spezifischen Anforderungen abgestimmt.
