MEMS Analysis Tool
MEMS Analysis Tool
MEMS Analysis Tool ist eine Post-Analyse Software. Sie erlaubt quantitative und präzise Raum- & Frequenz-Analysen der 3D-Zeitsequenz der Topographien (4D) aufgenommen mit dem DHM® für sowohl periodische wie nicht-periodische Phänomene.
Messen irgendeiner MEMS Charakteristik
- Mode-Formen
- Vibrations-Mapping : Amplitude & Phase
- Auslenkung, Geschwindigkeit, Beschleunigung
- in jeder Richtung
- egal wo im Bildfeld
- für jede Struktur
- Frequenz-Antwort
- Elektrische-Antwort
Vergleiche Simulation mit Messung
- Post-analysiere die aufgenommen Daten jederzeit, irgendwo
- Exportiere die Daten in offene Formate für weitergehende Analyse
- Erstelle eigene Analyse-Templates für effizienten Vergleich der Bauteile
Verteile Deine Arbeit effizient
- Messe Bauteile wie zuvor nicht möglich
- Bereichere Publikationen und Konferenz-Präsentationen mit Videos
Algorithmen für In- & Aus-der-Ebene Analysen
MEMS Analysis Tool beinhaltet leistungsfähige Algorithmen zum Analysieren von 3D-Zeitsequenzen von MEMS-Topographien in Bezug auf (gleichzeitige!) in- und aus-der-Ebene Bewegung.
Kombiniere und vergleiche
- Bewegung & Vibrationsamplitude
- Geschwindigkeit
- Beschleunigung
- Elektrische Antwort
- …
Für MINI Vibrationen …
- Kanten tracking, Fourier und sub-Pixel Algorithmen
- Runter zu Nanometern in-der-Ebene
- Runter zu Picometern aus-der-Ebene
… für GROSSE Bewegung
- Struktur tracking Algorithmus
- Bis zu Millimetern in-der-Ebene
- Bis zu mehreren Zehnern von Mikrometern aus-der-Ebene
Charakterisierung von komplexen Bewegungen und Geometrien
- Neigung
- Rotation
- Bewegte Teile mit Löchern und Strukturen
Eine komplette Toolbox für Frequenz-Feedback-Analyse
Das Frequenzverhalten ist eine der wichtigsten MEMS Charakteristiken. MEMS Analysis Tool beinhaltet mehrere Methoden zum Hin- und Herschalten zwischen Zeit- und Frequenz-Bereich. Die Analyse geht sowohl für in- und aus-der-Ebene Bewegung, ebenso für die elektrischen Signale, aufgenommen mit dem stroboskopischen Modul.
Bode Analyse
- Bode Phasen- und Amplituden-Diagramme
- Q Faktor
Fourier Analyse
- Fourier Transformation für Zeit- und Frequenzbereich
- Fourier Filterung vom Frequenz- zum Zeitbereich
Harmonische Analysen
- Fundamentale, zweite, dritte und vierte harmonische Amplituden
- Anwendungsbeispiel: MEMS Mikrofon, Lautsprecher Membranen
Schwingungsformen – für effizienten Vergleich mit Simulationen
MEMS Analysis Tool erlaubt die Visualisierung und Analyse sowohl der 4D-Topographie (3D + Zeit) wie auch der Schwingungsformen. Letztere ist sehr nützlich, wenn die Amplitude der Vibrationen viel kleiner ist als die strukturellen Dimensionen, und dadurch überhaupt den Vergleich von Simulation und Praxis erlaubt.
Einzigartiges 4D-Analyse-Tool
MEMS Tool beinhaltet überaus effiziente Tools zur dynamischen 4D-Datenanalyse. Profilschnitte oder Gitter sind neben weiteren interessanten Tools dazu geeignet, Ihnen neue Einsichten in die Funktionsweise Ihrer Bauteile zu gewähren. Sie tragen damit viel zur Optimierung Ihrer Bauteile bei, beschleunigen und vereinfachen deren Entwicklung. Daten können als Text File oder als Video-Bildsequenz exportiert werden.
„Array“ Tool : für multiple Bauteil-Analyse
- Schnelle Analyse von Array Strukturen
- Sichtbarmachen der Beieinflussung benachbarter Devices
- Funktioniert auch mit stitching bei grösseren Arrays
- Für die Post-Analyse: nicht nötig, vor der Messung ein Gitter zu definieren!
„Dynamisches Profilschnitt“ Tool
- Beinahe unlimitierte Anzahl Punkte pro Profilschnitt
- Membranen: Bestimmung der Kollaps-Spannung
- Quantitativer Vergleich der Auslenkung benachbarter Devices
