Linsenloser Sensor
Linsenloser Sensor
Der linsenlose DHM® Sensor hat eine fixe Abbildungsgrösse, ist robust und damit ideal für industrielle Anwendungen. Misst die 3D Topographie in sub-Nanometer Höhenauflösung mit Aufnahmezeiten in Mikrosekunden. Insbesondere bei flachen Proben wie in der Chip-Fertigung spielt er seine Stärken aus.
Digitale Holographie bietet entscheidende Vorteile zu anderen optischen Profilometern:
- Sehr schnelle Messungen
- Unempfindlich gegenüber Umgebungs-Vibrationen
- Digitale Fokussierung : geht rein digital, kein Versetzen der Probe
- Die Laserwellenlänge ist die Höhenreferenz: kein scannender Mechanismus nötig
Ideal für Automatisierung
- Kompaktes Design für einfache Integration
- Kamera ausserhalb des Gehäuses für einfache Wartung
- Externe Laserquelle für einfache Integration und Wartung
Angepasst an Kundenbedürfnisse
- Single- oder Dual-Wellenlängen Konfiguration
- Laser mit langer Kohärenz bei Bedarf
- Sensor mit hoher x-y Auflösung bei Bedarf
Spezifikationen
- Bildgrösse : 6mm x 6mm
- Laterale Auflösung : 10 um
- Vertikale Auflösung : 0.5 nm
- Arbeitsabstand : 10 mm
- Maximale Schräge : 0.8°
- CMOS Kamera : 4 Mpx
