Der linsenlose DHM® Sensor hat eine fixe Abbildungsgrösse, ist robust und damit ideal für industrielle Anwendungen. Misst die 3D Topographie in sub-Nanometer Höhenauflösung mit Aufnahmezeiten in Mikrosekunden. Insbesondere bei flachen Proben wie in der Chip-Fertigung spielt er seine Stärken aus.
Digitale Holographie bietet entscheidende Vorteile zu anderen optischen Profilometern: