Motorisierte Verfahrtische
Beschreibung
Motorisierte Verfahrtische erleichtern stark das Bewegen der Probe auf dem Tisch sowohl in X-Y wie auch in der Z-Richtung zum Finden der Messposition und des Fokus. Das Bewegen geht entweder mit dem Joystick oder auch mit dem entsprechenden Fenster in Koala acquisition and analysis software. Für das sogenannte stitchen ist der motorisierte Tisch Voraussetzung.
Erlaubt Messungen wie :
- Schnelles, automatisiertes stitchen einer Vielzahl von Messungen
- Autofokus (auch an stark spiegelnden Oberflächen)
- Automatisierung von Messungen an Proben in einer definierten Anordnung (grid of samples)
Motorisierte DHM® Verfahrtische
Mehrere Verfahrtische verschiedener Grösse stehen zur Verfügung. Die Anzahl variiert für Reflection DHM® und Transmission DHM®. Auf Nachfrage stehen auch kundenspezifische Verfahrtische für beide DHM® Ausführungen zur Verfügung.
| Verfahrweg (X x Y x Z) | X, Y minWeg | X, Y max Geschwindigkeit | Z-Auflösung | Max Gewicht |
| 100 x 100 x 38 mm | 0.04 μm | 24 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 150 x 150 x 38 mm | 0.04 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 200 x 200 x 38 mm | 0.10 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 300 x 300 x 38 mm | 0.04 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
Für das Durchlicht DHM®
| Verfahrweg (X x Y x Z) | X, Y min Weg | X, Y max Geschwindigkeit | Z-Auflösung | Max Last |
| 114 x 76 x 38 mm | 0.01 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
