Motorisierte Verfahrtische
Beschreibung
Motorisierte Verfahrtische erleichtern stark das Bewegen der Probe auf dem Tisch sowohl in X-Y wie auch in der Z-Richtung zum Finden der Messposition und des Fokus. Das Bewegen geht entweder mit dem Joystick oder auch mit dem entsprechenden Fenster in Koala acquisition and analysis software. Für das sogenannte stitchen ist der motorisierte Tisch Voraussetzung.
Erlaubt Messungen wie :
- Schnelles, automatisiertes stitchen einer Vielzahl von Messungen
- Autofokus (auch an stark spiegelnden Oberflächen)
- Automatisierung von Messungen an Proben in einer definierten Anordnung (grid of samples)
Mehrere Verfahrtische verschiedener Grösse stehen zur Verfügung. Die Anzahl variiert für Reflection DHM® und Transmission DHM®. Auf Nachfrage stehen auch kundenspezifische Verfahrtische für beide DHM® Ausführungen zur Verfügung.
Für das Auflicht DHM®
| Verfahrweg (X x Y x Z) | X, Y minWeg | X, Y max Geschwindigkeit | Z-Auflösung | Max Gewicht |
| 100 x 100 x 38 mm | 0.04 μm | 24 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 150 x 150 x 38 mm | 0.04 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 200 x 200 x 38 mm | 0.10 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
| 300 x 300 x 38 mm | 0.04 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
Für das Durchlicht DHM®
| Verfahrweg (X x Y x Z) | X, Y min Weg | X, Y max Geschwindigkeit | Z-Auflösung | Max Last |
| 114 x 76 x 38 mm | 0.01 μm | 60 mm/s | 20 nm | 10 kg |
For industrial quality control and heavy duty applications, Lyncée provide workstations configuration with industrial grade motorized tables.
Lyncée workstations include a sturdy aluminum profile table, optional anti-vibration system, marble with structure to hold the DHM head, and XYZ control of sample position and object-to-sample distance.
The stages are especially designed to provide ultra high accuracy in compact dimensions. Depending of the application requirements, they are equipped with different motors and measuring systems.
- Excellent low noise movement of the motors and a resolution of 0.1 µm are the major features
- Anti-backlash pre-loaded cross roller guides or profiled rail guides
- Anti-backlash pre-loaded ball screw
- Clean room compatibility
- From 50 mm to 300 mm ranges
- Driven by joystick or by PC
Please share with us your needs, and we will propose the most suitable solution.-
