Stroboskopisches Modul
Beschreibung
Die Laser basierte, gepulste stroboskopische Einheit, synchronisiert Anregung + Messung Ihrer MEMS Bauteile mit bis anhin nicht gekannter Effizienz und Einfachheit. Was das DHM® zu einem einzigartigen MEMS Analyzer macht: schliesse DEIN MEMS Bauteil an und messe es!
Die stroboskopische Einheit wird über die Koala Aquisitions & Analyse Software gesteuert. Im Standard-Modus wird die Oberfläche bereits mit 200 Bildern/sec aufgenommen, und all die Analyse-Möglichkeiten wie Aus-der-Ebene Messungen, Profile, 3D-Darstellung etc. sind live verfügbar.
Ein optionales Verstärker-Modul bietet bis zu 230V driving Signal. Dieser speziell ruhige Verstärker generiert keine Vibrationen und ist extra für hochsensible Mikroskopie-Messungen gemacht.
Betreiben Sie Ihre MEMS von statisch bis 25 MHz
- Die stroboskopische Einheit ist ein echter Signalgenerator für
- Sinus-, Rechteck- und Dreieck-Form
- Anwender spezifische Formen wie Chirps, White noise, Impuls, Bursts, etc.
- Bis zu vier Output-Kanäle zum Ansteuern Ihrer MEMS
- Ändern Sie Anregungs-Amplitude und Offset und beobachten Sie die Änderung der Topographie live!
Kontrollieren Sie die Frequenz des Signals
- Fixe Frequenzanalyse
- Vorwärts / Rückwärts Frequenzscanning
- Durchlaufender Sweep zum Finden nicht linearer Resonanzen
- Resonanzfrequenz-Suche mit einem Sweep ab einer Startfrequenz
Charakterisieren Sie die 3D-Topographie Ihrer MEMS
- Live 3D-Aufnahmen mit 30 Bildern/sec
- Post-Prozessieren Sie die Daten für weitergehende Analysen
Machen Sie gleichzeitig auch elektrische Analysen
- Nehmen Sie das MEMS Output-Signal auf wie mit einem Oszilloskop
- Zwei analoge und zwei digitale Input-Kanäle für bis zu 4 Anregungs-Kanäle
Aufnahme-Prinzip
Das Holographische-MEMS-Analyzer-Modul von Lyncée Tec basiert auf der Laser gepulsten stroboskopischen Aufnahme. Eine Voraussetzung für stroboskopische Aufnahmen ist ein periodisches Anregungssignal. Beim hier gezeigten Bild ist es ein sinusförmiges Signal, kann aber irgendein periodisches Signal sein, inklusive Impuls (Burst) Signale, um transiente und abklingende Phänomene zu beobachten. Das stroboskopische Modul, unter Kontrolle von Koala, kontrolliert und synchronisiert die Anregung z.B. der MEMS, triggert die Laserpulse und die Kamera, wie das Bild links zeigt. Die Verwendung von sehr kurzen Laserpulsen ist bei sich schnell bewegenden Teilen, Beispiel Mikrospiegel, unabdingbar. Nur dank den Laserpulsen (Belichtung) im Nanosekundenbereich lässt sich schnelle z-Bewegung scharf abbilden. Um genügend Belichtungsintensität zu erhalten, sind mehrfache Laserpulse, exakt synchronisiert mit der MEMS Anregung, nötig. Das Ganze wird von Koala so kontrolliert, dass die Belichtung über eine Mehrzahl an Perioden schliesslich dem Licht wie bei einer statischen Messung entspricht. Der Anwender kann zehntausende von 3D-Topographie-Messungen per Periode setzen. Dabei entspricht jede exakt einem ganz bestimmten Wert der Phase des Anregungssignals. In anderen Worten, die 3D-Topographie eines MEMS in Bewegung wird über die gesamte Anregungsperiode gemessen.
Spezifikationen
| Spezifikationen | Wert |
| Frequenz-Analogausgabe | 0.1 Hz bis 25 MHz |
| Messungen pro Periode | Frequenz abhängig, bis zu 215 Punkte |
| Laserpuls-Dauer | Runter bis 7.5 ns, hoch bis 232 Wiederholungen |
| Synchronisation Präzision | < 5 ps |
| Waveform-Amplituden-Auflösung | 14 bits |
| Waveform Generator | Vordefinierte DC, Sinus, Dreieck, Rechteck oder Anwender definierte Form |
| Analogausgabe und Offset | 0 to ±10 Volt mit ±2% Genauigkeit |
| Analogausgang Impedanz / max. Strom | 50 Ω / 100 mA |
| Anregungs-Ausgänge | Bis zu 4 |
| Anzahl Eingänge | 2 analog (-10 V to +10 V) und 2 digital 3.3-5 V TTL pro Anregungs-Kanal, synchronisiert mit der Messung |
| Analogeingangs-Impedanz | 100 kΩ |
| Frequenzkontrolle | Frequenz hoch/runter Scanning mit kontinuierlichem Sweep fürs Aufspüren nicht-linearer Resonanzfrequenzen |
